Вакуумное оборудование
Вакуумное оборудование АО «НПП «ЭСТО» используется в лабораториях, на БИС, ГИС, МЭМС, НЭМС производствах, в оптоэлектронике, силовой и СВЧ электронике. В продуктовом портфеле АО «НПП «ЭСТО» установки для магнетронного, ионно-лучевого напыления, ионного и плазмохимического травления.
Установки для напыления выполняют осаждение покрытий, ионно-лучевую, ионно-плазменную, термическую обработку в условиях вакуума разных материалов и изделий. Таким способом проводится нанесение декоративных, отражающих покрытий на пластик, магнетронное хромовое напыление, плазмохимическое осаждение диоксида кремния, нанесение циркония, нитридов титана для получения износостойких покрытий и другие операции.
Приборы для плазмохимического травления реализуют распад молекул реактивных газов посредством ионизации. Продукты распада либо вступают в реакцию с материалом подложки, либо входят в летучие соединения, либо реагируют между собой, либо происходит высаждение на поверхность с образованием нового соединения.
Новости
Подробнее
Нажимая на кнопку вы соглашаетесь с условиями политики конфиденциальности