МОДЕРНИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Процесс модернизации включает в себя замену:

• блоков управления загрузкой
• блоков управления нагревом
• блоков контроля температуры
• плат дискретного выхода
• регуляторов расхода газа
• электропневмоклапанов
• систем управления
• систем газонапуска
• оптических систем
• блоков питания
• приборов
• систем пневматики откачных средств

• 
• 
• 
• 
• 

• 
• 
• 
• 
• 

• «Изотрон 3-150»

  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

• «Изотрон 4-150» 

  текст 2
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

• «Оксид-3»

  текст 3
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

• «Октава»

  текст 4
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

• Серия «СД.ОМ-3/100»

  текст 5
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

• «Изоплаз-150»

  текст 6
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев

• УВН74, УВН71-П3

  текст 7
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм

• «Магнетрон», «Оратория-29», «Оратория 2М»

  текст 8
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм
  установка осаждения легированных и нелегированных слоев двуокиси кремния при пониженном давлении на пластинах диаметром 150 мм